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PRODUCT
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자동정밀스테이지

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High-precision Stage Ⅱ High Acceleration Stage

·Linear Motion Guided Split Type Stage

·Acceleration of Head : 3G

·Vision Align Table included(Bi-Repeatability : < ±2㎛


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

750mm/s

Acceleration

2.5G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±1㎛

Horizontal Straightness

< ±5㎛

 Vertical Straightness

< ±5㎛

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