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PRODUCT
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자동정밀스테이지

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Multi-function Stage Ⅰ Grantry Stage

·Gantry Stage for Multi-head

·Invar Type (1.2㎛/℃m) Linear Encoder

·Speed Ripple : < ±0.3% @ 20mm/s


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

1,000mm/s

Acceleration

0.5G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±1㎛

Horizontal Straightness

< ±3㎛

 Vertical Straightness

 < ±3㎛

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