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PRODUCT
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자동정밀스테이지

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Multi-function Stage Ⅰ stack type Stage

·Stack Type Stage (for Lase Application, etc.)

·Linear Motion Guide + Coreless Linear Type Motor

·Speed Ripple : < ±0.4% @ 20mm/s


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

500mm/s

Acceleration

0.5G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±0.5㎛

Horizontal Straightness

< ±2㎛

 Vertical Straightness

< ±2㎛

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