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PRODUCT
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자동정밀스테이지

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Multi-function Stage Ⅱ High acceleration Stage

·Laser Motion Guided Split Stage

·Acceleration of Head and Table : >2G


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

1,000mm/s

Acceleration

2G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±1㎛

Horizontal Straightness

< ±3㎛

 Vertical Straightness

< ±5㎛

-