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Large Size Stage Ⅰ 8 generation gantry Stage

·Gantry Stage for 8 Generation Glass

·Max. Speed : Up to 1,600mm/s


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

1,600mm/s

Acceleration

0.5G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±1㎛

Horizontal Straightness

< ±7㎛

 Vertical Straightness

< ±7㎛

 Speed Ripple

 < ±0.3% @ 20mm/s(100㎐)

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