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PRODUCT
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자동정밀스테이지

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Large Size Stage Ⅰ vertical Stage

·Vertical Linear Stage (for Precision Inspection)

·Dual Inspection Head

·Inspection Size : 1600×1600mm


 Item

Spec.

 Guide

LM Guide

Max. Speed

400mm/s

Acceleration

0.3G

 Accuracy

< ±2㎛

Repeatability

< ±1㎛

Horizontal Straightness

< ±4㎛

 Vertical Straightness

< ±3㎛

 Speed Ripple

 < ±0.13% @ 20mm/s(100㎐)

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